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半导体***净化工程常用解决方案「无锡谷能净化」

发布时间:2021-11-11 13:46:13        







净化车间为什么要控制温湿度?主要作用是什么,具体有什么措施?

    净化车间的温湿度主要是根据您的加工工艺要求来确定,在满足加工工艺的条件下,shou选应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高,工艺对温湿度的要求也越来越高,必须达到一定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。5千伏1分钟绝缘靴半年15千伏1分钟(3)、消防器材除了按期检查外,还应按规定更换灭火器。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。 湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。




焊烟净化工程以***环保为使命

焊烟净化器装置注重事项解释

1、挪动焊烟净化器到需焊接的***;

2、检讨各衔接部位能否衔接稳固;

3、检讨焊烟净化机与管道各连结整个的气密性,清除漏气景象;

4、衔接AC380V的电源,并接地,运转前注重电机转向,按下掌握面板上的启运按纽(ON/OFF),启动焊烟净化器,风机指导灯(Running)亮,使含尘气体通过焊烟净化器,装备正常任务。



光学微电子净化工程结构材料

1、净化厂房墙、顶板材料一般采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强,圆弧墙角、门、窗框等一般采用氧化铝型材制造。

2、地面可采用环氧自流坪地坪或高1级耐磨塑

3、送回风管道用热镀锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。

4、高1效送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁。



?洁净室中的气压规定


    对于大部分洁净空间,为了防止外界污染***,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的维持一般应符合以下原则:

1.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。

2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。

3.相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。

压力差的维持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透)风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。




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